多层低温共烧陶瓷基板集成液冷循环通道的制备方法

摘要

本发明提出的一种多层低温共烧陶瓷基板集成液冷循环通道的制备方法，既能保证液冷循环通道不塌陷，又能解决烧结中不分层、不鼓包的制作方法。本发明通过下述技术方案予以实现：首先将若干低温共烧陶瓷生瓷片分成三个层次，分别制出定位孔、导通孔、散热孔和液冷循环通道，再将含天线单元的顶部生瓷片层进行一体化叠层为顶部单元，将含液冷循环通道的中部生瓷片层和含TR组件单元的底部生瓷片层一体化层压形成凹坑单元；把可挥发填充材料印刷到凹坑单元的凹坑内，并在凹坑单元表面上涂敷有机粘接剂，将顶部单元叠在凹坑单元上，采用低温低压方式形成整体模块。层压完毕的整体模块放入烧结炉中烧结，将液冷外部接头焊接到模块顶层表面对应的液冷进出口上。