半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪

摘要

本发明涉及一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干仪，包括测量装置及处理测量数据的计算机构成，其特点是，测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；激光源设置在箱体内前部；光路部件由若干个反射镜、一分光棱镜以及若干个扩束镜组件组成；成像部件由设置在箱体后部内的摄像头和设置在箱体后部外的成像镜前、后对应设置构成；摄像头的信号输出端通过数据总线与计算机的输入端连接；分光器件设置在成像镜前端部。更换或改变光路部件中个别元件的位置，由摄像头获取被测件的图像，输入计算机中程序处理，可测得物体变形后的高精度离面位移、面内位移、离面位移梯度；在屏幕上显示干涉条纹，使用方便，功能强。