公开/公告号CN207517211U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 天津市龙洲工控设备股份有限公司;
申请/专利号CN201721061838.7
申请日2017-08-23
分类号
代理机构
代理人
地址 300000 天津市西青区凌奥创意产业园一期6号楼二层西侧部分
入库时间 2022-08-22 05:24:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G09B9/00 授权公告日:20180619 终止日期:20190823 申请日:20170823
专利权的终止
2018-06-19
授权
授权
机译: 用于在芯片生产设备中获取生产数据的高级过程控制方法和高级过程控制系统
机译: 用于在芯片生产设备中获取生产数据的高级过程控制方法和高级过程控制系统
机译: 一种用于多产品制造过程的高级过程控制的方法,当发生重置事件时,在重新初始化之后,控制降级最小