一种在硅圆片上单片集成微型光谱仪结构

摘要

本实用新型公开了一种在硅圆片上单片集成微型光谱仪结构，其特点是单硅片上设有色散系统与红外传感器集成和兼容的光学结构，所述光学结构由表面沉积金层的硅柱与表面沉积氧化硅层、氮化硅层、钛层和铝层的传感器凹槽组成；所述金层沉积在硅柱的外表面上；所述传感器凹槽为“V”形槽，其槽壁上设有热隔离层，并在热隔离层上依次沉积氮化硅层和钛层，槽口两侧依次沉积氧化硅层和铝层。本实用新型与现有技术相比具有光线沿硅片平面方向入射，避免了光线垂直入射，工艺简单，结构尺寸小的特点，较好的解决了光学路径受到硅片厚度限制的问题，尤其满足了光谱仪小型化、低成本的应用要求。