一种介电泳粒子分选微流控芯片

摘要

本发明公开了一种介电泳粒子分选微流控芯片，首先利用微流控芯片软光刻工艺，得到具有一定形状的微通孔和微通道，结合镀液电磁阀的开启和闭合动作，实现微通道内壁的局部化学镀金或者镀银，形成镀层区域。镀层区域中的镀层电极与通电后的平面电极一起形成闭合的非匀强电场区域，在镀层电极上方通过形变控制电磁阀施加大小可变的电磁力，造成镀层电极的形变，导致非匀强电场区域的电场强度分布发生改变，并引起介电泳力分布的改变。本发明无需调节外加信号源改变外电场的幅值，而仅需通过控制形变控制电磁阀电磁力的大小，即可实现对非匀强电场区域的场强和电场分布的调整，实现对不同属性介电粒子的分选。