公开/公告号CN207472997U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 国网福建省电力有限公司泉州供电公司;泉州亿兴电力有限公司;
申请/专利号CN201721531574.7
申请日2017-11-16
分类号G01R31/00(20060101);
代理机构35204 厦门市首创君合专利事务所有限公司;
代理人傅家强
地址 362000 福建省泉州市刺桐路永宏花苑A612
入库时间 2022-08-22 05:17:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-08
授权
授权
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种通孔倒角或泄漏,以及至少一种拐角短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中获得了这些测量值使用带束偏转的带电粒子束检查器从具有相应的尖端到尖端短,通孔倒角短和拐角短测试区域的单元中进行位移
机译: 压力管道泄漏测试装置,特别是用于气体-具有预测试和主要测试设备,带柱形指示器的水容器,气泵和带自动阀的联轴器