二维动态光电自准直仪

摘要

本实用新型公开了一种二维动态光电自准直仪，包括用于固定激光光源和聚焦透镜的激光器套筒、反射镜及其安装座、固定准直物镜的物镜筒、固定分光片和位置敏感探测器（PSD）的后底座。聚焦透镜和准直物镜的焦点重合以组成准直扩束系统，激光光源发出的平行光束依次经过聚焦透镜、反射镜、分光片和准直物镜，再由标准反射镜反射后再次经过准直物镜和分光片，最后聚焦在PSD的光敏面上。通过测量光斑在PSD上的位移量可以得到标准反射镜的二维角度变化。本实用新型采用半导体激光器作为光源，功率稳定，散热量小，寿命长。采用PSD作为光电探测器，分辨力高，动态响应特性好。本实用新型成本低、结构紧凑，测量范围大，能进行静、动态二维角度精密测量，可广泛应用于工业生产中的加工检测、角度计量器具的检定和高频角振动的检测。