一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置

摘要

本实用新型涉及一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，属于紫外纳米压印领域。收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置。优点是精确调控各模板以及紫外灯可固化的距离，能够制造出超大面积的纳米压印无缝图案，加入了多个压印辊同时进行压印超大型图案，提高了纳米压印的生产效率。