用于真空镀膜设备的共直流母线装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端相连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，还包括：下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；下位机与整流单元及驱动单元连接；整流单元的输入端与供电系统连接，整流单元的输出端与公共母线连接；制动单元以及各驱动单元，并联在公共母线上。本实用新型可以实现多台电机之间电动状态和发电状态之间能量的互相利用以减少电能的消耗，还可以有效地节省真空镀膜设备中电气设备的安装空间，并且硬件构成相较现有的传动电机驱动系统更为简洁，既能控制成本也便于维护。