一种适用于CZ法拉制重掺硼单晶硅棒的热场装置

摘要

一种一种适用于CZ法拉制重掺硼单晶硅棒的热场装置，包括了底盘、保温桶、保温盖、加热器和热屏；所述的保温桶从下往上由下保温筒、主保温桶和上保温筒三段构造固定组合安装；所述的加热器沿主保温桶的内壁固定布设；所述的热屛呈漏斗状，下沿口伸入到加热器中；所述的上保温筒高度小于等于加热器高度的