一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置

摘要

本实用新型公开了一种精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，包括蚀刻液槽体，所述盐酸罐的右侧底端和双氧水罐的左侧底端均安装有补液泵，所述分液管的底端安装有多个输送管，所述上端盖的底端安装有内套筒，所述内套筒的外壁套接有外套筒。该精密蚀刻自动补液后提高蚀刻液稳定、均匀性的装置，通过输送管、内套筒和外套筒的配合，当盐酸、双氧水添加到内套筒中后，因比重小于蚀刻液的比重，将会集中在内套筒的中上部，为了使添加到内套筒的盐酸和双氧水比较均匀一致的释放到蚀刻液中，所以将内套筒上的孔加工成从上到下逐步变大，三个输送管可以使盐酸和双氧水更均匀地释放到蚀刻液槽体的内部。