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垂直布里奇曼炉多元化合物晶体生长设备

摘要

本实用新型公开了一种垂直布里奇曼炉多元化合物晶体生长设备,包括炉体、支撑炉体的支架,以及向炉体内送料的送料机构,所述炉体包括:内管,为立式设置的石英管;外管,为石英管,同轴线地嵌套在内管外,并与内管间留有给定距离,而形成中间空间,且外管表面镀有隔热镀层;隔热件,位于中间空间上下方向的中间,内管位于隔热件上部的空间为高温区,位于隔热件下部的空间为低温区,隔热件所处的区域为梯度区;以及加热器,位于中间空间,包括用于对高温区加热的上加热器和用于对低温区加热的下加热器。依据本实用新型炉体结构相对紧凑、重量相对较小。

著录项

  • 公开/公告号CN206916250U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-01-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 济南力冠电子科技有限公司;

    申请/专利号CN201720715947.X

  • 发明设计人 宋德鹏;

    申请日2017-06-20

  • 分类号C30B11/00(20060101);

  • 代理机构37257 山东众成清泰律师事务所;

  • 代理人丁修亭

  • 地址 250119 山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区

  • 入库时间 2022-08-22 03:45:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-04

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B11/00 变更前: 变更后: 申请日:20170620

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2018-01-23

    授权

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