一种可消除杂质的双离子束加速器装置

摘要

本实用新型公开了一种可消除杂质的双离子束加速器装置，装置一包括进气系统、离子源、束流传输元件和靶；束流传输元件包括杂质消除系统和后端束流传输元件；杂质消除系统由第一质量分析器、双孔选束光阑、聚焦透镜和第二质量分析器组成，其中第一质量分析器和第二质量分析器结构相同，电场、磁场设置方向相反，进气系统、离子源、第一质量分析器、双孔选束光阑、聚焦透镜、第二质量分析器、后端束流传输元件和靶分别按离子束传输方向顺序设置。本实用新型提供了一种既能够保证束流的纯度，又能低成本的实现了两种不同质量的离子束的产生及同轴注入的可消除杂质的双离子束加速器装置。