一种高精度线性位移检测装置

摘要

本实用新型供一种高精度线性位移检测装置，测量待测柱塞泵带动的探针线性位移，包括探针调整装置、探针调整装置转接板、光栅尺滑尺、滑动导轨、滑轨转接板、光栅尺标尺，光栅尺标尺固定块，安装基座；在一块安装基座上设置所述的测量待测柱塞泵，待测柱塞泵的柱塞与探针调整装置固定，探针调整装置通过探针调整装置转接板连接到光栅尺滑尺上与光栅尺滑尺连动，光栅尺滑尺通过滑轨转接板连接到固定在基座上的滑动导轨上，在基座上光栅尺标尺与滑动导轨平行设置。本实用新型中探针可XY轴调节，适用度广。探针可插入深孔中，检测在深孔内部线性运动物体的精度，光栅尺标尺和滑尺平行安装在基板上，滑尺通过导轨安装，可实现无摩擦往复运动。待测件夹具固定在基板上，夹取范围广。