基板翻转装置及包含该基板翻转装置的基板处理系统

摘要

本申请公开了一种基板翻转装置，此外，本申请还公开了一种基板处理系统。在该基板处理系统内设置有翻转室，该翻转室内设置有基板翻转装置。当基板的一个表面处理完成后，该基板由传送室内的基板传送装置传送至翻转室，利用翻转室内的基板翻转装置可以在真空环境下实现基板的翻转，翻转后，再由传送室内的基板传送装置传送至工艺反应室，对基板的另一表面进行处理，完成基板正、背两面上的处理。如此，通过本申请提供的基板处理系统无需将基板传送至系统外进行翻转，通过其包括的翻转室以及翻转室内的基板翻转装置就能够使得基板在基板处理系统内完成翻转，因此，通过本申请提供的基板处理系统能够提高基板加工效率，减少基板污染几率。