一种Lam‑sabre系列机台EBR洗边宽度调校模组

摘要

本实用新型属于半导体生产制造设备领域，具体涉及一种Lam‑sabre系列机台EBR洗边宽度调校模组，其包括模组箱1、设置在模组箱1上的齿轮驱动移动机构2、设置在模组箱1内的旋转齿轮、设置在模组箱1内对旋转齿轮的旋转圈数进行计数的齿轮圈数计数器4、设置在齿轮驱动移动机构2内并随着齿轮驱动移动机构2的移动而移动的喷酸管5。本实用新型具有以下优点：1、提高EBR宽度的调校精度；2、免去切换EBR后的monitor程，提高机台uptime；3、直观显示当前chamber的EBR洗边宽度，便于制程工程师管控机台状态。