一种一拖二二极管晶圆自动传输机械手装置

摘要

本实用新型公开了一种一拖二二极管晶圆自动传输机械手装置，它涉及晶圆自动传输装置领域，机架上设置有上片机构和收片机构，上片机构和收片机构的一侧位于机架的台面上设置有水平旋转臂，水平旋转臂的上方安装有水平伸缩臂，水平伸缩臂的前端安装有竖直伸缩臂，竖直伸缩臂的前端安装有晶圆拾取机构。它通过采用上片机构与收片机构独立的设计方案，并且通过晶圆拾取机构对晶圆上表面进行吸附操作，解决了晶舟内空间狭小的弊端，由于对晶圆上表面进行吸附操作，现有半自动探针台机不需要做任何结构改动即可完成自动化升级工作，该装置采用了近似对称的结构，旋转机构可以实现大于180°角度的旋转，可以为两台探针台提供晶圆传输服务。