一种基于气体流量测量气膜内气体密度的装置

摘要

本实用新型涉及一种基于气体流量测量气膜内气体密度的装置，属于精密设备性能检测领域。本实用新型所述基座固定在水平地面上，隔震平台放置在基座上，大理石平台放置于水平的隔振平台上，空气静压轴承放置在大理石平台中央，压力传感器放置在空气静压轴承正上方，传感器支架一端固定在隔震平台上，传感器支架另一端连接微位移传感器接入微力传感器，气缸安装在支架上并位于压力传感器的正上方；空气压缩机把气源经过压缩之后，由三通分出三路气体分别给气缸和空气静压轴承供气。本实用新型通过气体流量的调节，通过气膜厚度变化对气膜间隙的影响，从而利用所测得气体流量的变化量计算出气膜内气体的密度。