电阻式加热器与多晶硅长晶装置

摘要

一种电阻式加热器与多晶硅长晶装置。电阻式加热器的外轮廓大致呈矩形，且包含第一短连接器、第二短连接器、长连接器、多个第一加热棒及多个第二加热棒。第一短连接器和第二短连接器互相分离且依序设置于矩形的第一边。长连接器设置于矩形的相对于第一边的第二边。每一第一加热棒以一端连接于第一短连接器而以另一端连接于长连接器。每一第二加热棒以一端连接于第二短连接器而以另一端连接于长连接器。长连接器具有中间段、和分别连接于中间段的第一端部段及第二端部段，且中间段的截面积大于第一端部段的截面积与第二端部段的截面积。藉此，可改善加热器的热点现象，而可降低多晶硅晶锭黏锅风险，进而可提升多晶硅的晶锭良率。