公开/公告号CN206421018U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 广州山锋测控技术有限公司;
申请/专利号CN201621437847.7
申请日2016-12-26
分类号
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人陈伟斌
地址 510656 广东省广州市天河区黄埔大道西平云路163号通讯车间大楼二层
入库时间 2022-08-22 02:52:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-18
授权
授权
机译: 用于计量不同粘度液体的计量泵系统基于对软管的重复挤压,并具有自动校准程序以确保精确的测量
机译: 用于EUV计量系统的可互换物体夹持装置、一种可互换物体夹持装置的校准方法以及具有这种可互换物体夹持装置的EUV计量系统
机译: 用于EUV计量系统的交换物体保持装置、一种校准该交换物体保持装置的方法及具有该交换物体保持装置的EUV计量系统