一种在直拉单晶制造法中增加单晶尾部氧含量的结构

摘要

本实用新型涉及一种在直拉单晶制造法中增加单晶尾部氧含量的结构，包括用于制作单晶硅的石墨坩埚和设置在石墨坩埚内的石英坩埚，所述石墨坩埚的内表面在与石英坩埚的接触面之间设置凸块。本实用新型的有益效果是能使熔汤接触到石英坩埚的面积比常规工艺的大，从而使得较多的氧能从石英坩埚进入熔汤内，提高单晶中部至尾部的氧含量，确保其机械强度。