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电子束蒸发型镀膜机的挡板用修正设备

摘要

本申请公开一种电子束蒸发型镀膜机的挡板用修正设备,该修正设备包括蒸发源模拟光源、密封腔、安装部、伞状载件盘和标尺;其中,所述蒸发源模拟光源固定在所述密封腔的底部;所述伞状载件盘可转动地设置在所述密封腔的顶部,且所述伞状载件盘上设置有安装孔;所述安装部固定在所述密封腔内,且用于固定电子束蒸发型镀膜机的挡板以使得所述挡板位于所述蒸发源模拟光源至所述安装孔的光路上,所述标尺用于测量所述挡板的宽度,所述挡板和所述标尺能在所述伞状载件盘上分别形成挡板投影和标尺投影。上述修正设备能实现对电子束蒸发型镀膜机的挡板实施修正。

著录项

  • 公开/公告号CN206375998U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2017-08-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长春博信光电子有限公司;

    申请/专利号CN201621445340.6

  • 发明设计人 胡天佐;单明星;石国强;

    申请日2016-12-27

  • 分类号C23C14/30(20060101);

  • 代理机构11559 北京市跃扬知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人叶平

  • 地址 130000 吉林省长春市高新区卓越东街155号

  • 入库时间 2022-08-22 02:48:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-08-04

    授权

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