公开/公告号CN206369907U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-08-01
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥芯碁微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201621485704.3
申请日2016-12-31
分类号G03F9/00(20060101);H04N5/225(20060101);H04N5/372(20110101);
代理机构34115 合肥天明专利事务所(普通合伙);
代理人宋倩;奚华保
地址 230088 安徽省合肥市高新区望江西路2800号创新产业园二期H2楼533室
入库时间 2022-08-22 02:47:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F9/00 变更前: 变更后: 申请日:20161231
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-08-01
授权
授权
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