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一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置

摘要

本发明提供一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置,包括CCD相机、安装在CCD相机上的光学镜头以及固定在光学镜头上的照明光源,所述光学镜头采用双侧远心镜头,所述照明光源包括点光源和环形光源,所述点光源用于为光学镜头提供同轴照明,所述环形光源用于为光学镜头提供低角度照明。本发明通过采用双侧远心镜头来保证抓图准确性,且在景深范围内,可满足实时动态抓图,通过采用同轴点光源和环形光源来实现明、暗视野双照明;本发明结构紧凑,设计合理,通过切换不同的照明方式,可实现不同基板、不同印刷材料的图像抓取,满足直写光刻设备所有基底的高亮度、高对比度、高精度的图像采集需求。

著录项

  • 公开/公告号CN106773565A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥芯碁微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201611267474.8

  • 发明设计人 吴琼;曹永珍;何少锋;

    申请日2016-12-31

  • 分类号G03F9/00;H04N5/225;H04N5/372;

  • 代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙);

  • 代理人宋倩

  • 地址 230088 安徽省合肥市高新区望江西路2800号创新产业园二期H2楼533室

  • 入库时间 2023-06-19 02:21:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-24

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F9/00 申请公布日:20170531 申请日:20161231

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-06-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F9/00 申请日:20161231

    实质审查的生效

  • 2017-05-31

    公开

    公开

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