公开/公告号CN106773565A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥芯碁微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201611267474.8
申请日2016-12-31
分类号G03F9/00;H04N5/225;H04N5/372;
代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙);
代理人宋倩
地址 230088 安徽省合肥市高新区望江西路2800号创新产业园二期H2楼533室
入库时间 2023-06-19 02:21:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F9/00 申请公布日:20170531 申请日:20161231
发明专利申请公布后的驳回
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F9/00 申请日:20161231
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
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