一种采用动态流导法测量材料放气性能的真空测量系统

摘要

一种采用动态流导法测量材料放气性能的真空测量系统，结构为：抽气装置的第一分子泵的出气端连接第二分子泵的进气端；第二分子泵的出气端连接机械泵的进气端；第二分子泵与前级阀之间连接有电阻规；进气装置的气体质量流量计的进气端连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端；进气装置的出气端与第一分子泵的进气端连接，进气装置的出气端上还连接有超高真空放气阀；流导单元的超高真空截止阀连接在流导的进气端和出气端之间；流导的出气端与第一分子泵的进气端连接；测量室通过超高真空阀连接流导的进气端；测量室还连接有四级杆质谱仪和超高真空电离计；测试装置外设可升降的第一烘箱；样品室与测量室之间通过密闭通道连接。