三氯氢硅合成生产中使用的除尘装置及三氯氢硅合成系统

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅合成生产中使用的除尘装置和三氯氢硅合成系统，该除尘装置包括旋风分离器，还包括硅粉缓存罐和料腿，所述旋风分离器、硅粉缓存罐和料腿均能内置于合成炉内，旋风分离器的气体出口能够与合成炉的出口管线连通，旋风分离器的排渣口与硅粉缓存罐的进口连通，硅粉缓存罐的出口与料腿顶部连通。在三氯氢硅合成系统中采用该除尘装置，能使硅粉的分离效果好、且能大大降低人员的劳动强度。