三氯氢硅合成湿法除尘系统的优化改造

摘要

介绍了三氯氢硅合成湿法除尘的主要工艺及不足,通过增加蒸发设备对湿法除尘淋洗塔塔底排放的四氯化硅进行部分回收,利用化工模拟软件Aspen Plus对三氯氢硅合成装置进行全流程模拟,并在此基础上完成了该系统的技术改造。