硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响

摘要

分析了硅粉质量对三氯氢硅合成的影响,具体包括:硅粉粒径对三氯氢硅产率和转化率的影响,硅粉含水量和杂质Al含量对系统运行稳定性的影响以及杂质含量对合成三氯氢硅质量的影响.

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