一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置

摘要

本实用新型涉及碳化硅溶液法领域，尤其涉及一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置，采用一种高精密度电流计并与晶体生长系统形成电流回路的感应装置，然后再通过PID反馈回路，自动调节固液界面的高度实现；此外本装置无需人工耗时观察，避免熔融液与外界的气氛对流，避免了观察耗时久、工时长、滞后不及时等弊端，解决了溶液法中存在的这一难题，更利于生产高品质单晶SiC材料。