接头及晶圆支持载具

摘要

本实用新型揭露一种接头及晶圆支持载具，其中该接头大致呈圆柱状，其包含一螺牙段、一挡止段及一弹臂段，螺牙段的表面刻设有螺纹，挡止段设置于螺牙段与弹臂段之间，弹臂段的直径大于螺牙段，且弹臂段自远离挡止段的一端断开并朝向挡止段的方向延伸以形成至少一切口。