一种双面抛光硅片抛光机

摘要

本实用新型涉及一种双面抛光硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能，对一块硅片抛光时需要进行两次，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。本实用新型涉及一种双面抛光硅片抛光机，其中：第一抛光轮设有第一抛光齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与第二抛光轮固定连接，第二抛光轮设有第二抛光齿，机体与支架固定连接，支架与固定块固定连接，抛光液箱通过液管与喷头连通。本装置采用双面抛光的方式，一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光，大大提高了抛光效率，降低生产成本。