一种基于交变光场的时栅直线位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于交变光场的时栅直线位移传感器，包括定极板和动极板，定极板的上、下部分别具有一排均匀分布的呈方形的定极板透光面；所述定极板的后方上、下部分别设置有一组发光器件；动极板的上、下部分别具有两个呈半正弦形的动极板透光面；在动极板上固定有四个光敏接收单元，该光敏接收单元的光电接收面覆盖在动极板透光面上。两组发光器件分别提供交变光场，动极板相对定极板移动，四个光敏接收单元输出电信号，经求差后得到两个光场耦合信号，再经加法电路合成一路行波信号Uo，该行波信号Uo与一路参考信号Ur经整形、比相后，再经时钟插补、标度变换得到动极板相对定极板的直线位移值。其精度高、功耗低、成本低，且安装制作较容易。