公开/公告号CN205791130U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 国网山东省电力公司高唐县供电公司;
申请/专利号CN201620506820.2
发明设计人 张付军;
申请日2016-05-27
分类号
代理机构济南圣达知识产权代理有限公司;
代理人赵敏玲
地址 252899 山东省聊城市高唐县金城东路92号
入库时间 2022-08-22 01:56:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H02B3/00 授权公告日:20161207 终止日期:20180527 申请日:20160527
专利权的终止
2016-12-07
授权
授权
机译: 缺陷识别方法,缺陷观察方法和带电粒子束装置
机译: 缺陷识别方法,缺陷观察方法和带电粒子束系统
机译: 带电粒子束装置,缺陷观察装置以及管理服务器