具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。本实用新型的优点是：能够精确控制膜厚，为镀膜工艺开发提供多种可选方案；结构简单合理，拆装方便，适于推广。