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一种使用双频激光的两轴光栅位移测量系统

摘要

一种使用双频激光的两轴光栅位移测量系统涉及一种光栅位移测量系统;该测量系统包括出射端接光纤的双频激光器、分光部件、干涉光路部件、光电探测及信号处理部件和一维反射式测量光栅;所述干涉光路部件包括偏振分光棱镜、测量臂四分之一波片、测量臂折光元件、参考臂四分之一波片、参考臂折光元件和一维反射式参考光栅;所述一维反射式测量/参考光栅周期、测量/参考臂折光元件折光角度、出射端接光纤的双频激光器的波长之间满足2d

著录项

  • 公开/公告号CN103630077B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨工业大学;

    申请/专利号CN201310675317.0

  • 发明设计人 林杰;关健;金鹏;谭久彬;

    申请日2013-12-12

  • 分类号

  • 代理机构哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张伟

  • 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

  • 入库时间 2022-08-23 09:40:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-11

    授权

    授权

  • 2014-04-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20131212

    实质审查的生效

  • 2014-03-12

    公开

    公开

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