透射型合成孔径数字全息术的光学元件表面疵病检测装置

摘要

本实用新型公开了一种透射型合成孔径数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，属于光学检测技术领域中的光学元件表面疵病的检测装置，其目的在于提供一种可测量表面疵病深度跃变范围达λ波长量级的透射型合成孔径数字全息术的光学元件表面疵病检测装置。其技术方案为：包括第一激光器、第一显微物镜、针孔、第一透镜、第二反射镜、第二分光棱镜、第三反射镜、第三分光棱镜、第二显微物镜、衰减器、计算机、CCD相机、第三显微物镜和二维平移台。本实用新型适用于对表面疵病横向尺寸较大的光学元件的表面疵病进行检测。