基于透射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置

摘要

本实用新型涉及光学检测领域，具体涉及基于透射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，它利用数字全息技术测量由表面疵病引起的元件反射波前的相位畸变，进而通过相位畸变与光程差的关系来获得表面疵病的形貌结构；本实用新型包括激光器、光学系统、CCD相机及计算机，其有益效果为：实现对于光学元件表面疵病三维形貌的实时快速全场定量检测，使用便携，易于操作。