一种用于容积式真空泵的真空调节阀装置

摘要

本实用新型提供了一种用于容积式真空泵的真空调节阀装置，其能解决现有采用气动翻板阀对容积式真空泵进行抽气控制存在的使用限制多、使用范围小、通用性差的问题。其包括进气调节阀、稳压调节阀和减压调节阀，进气调节阀的进气口侧连接真空区域、出气口侧连接容积式真空泵，进气调节阀、稳压调节阀、减压调节阀分别通入液压油，稳压调节阀、减压调节阀的液压油出口分别通过油管与进气调节阀连接，稳压调节阀、减压调节阀均设有压力感应口，进气调节阀的进气口上设有入口压力监测口、出气口上设有出口压力监测口，入口压力监测口与稳压调节阀的压力感应口之间通过管道连接，出口压力监测口与减压调节阀的压力感应口之间通过管道连接。