公开/公告号CN103890895B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 SNU精度株式会社;
申请/专利号CN201180073721.X
申请日2011-09-28
分类号
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张大威
地址 韩国首尔
入库时间 2022-08-23 09:39:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/28 授权公告日:20160518 终止日期:20170928 申请日:20110928
专利权的终止
2016-05-18
授权
授权
2016-05-18
授权
授权
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/28 申请日:20110928
实质审查的生效
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20110928
实质审查的生效
2014-06-25
公开
公开
2014-06-25
公开
公开
查看全部
机译: 具备二次电子反射电子检测装置和二次电子反射电子检测装置的扫描电子显微镜
机译: 二次电子反射电子检测装置,以及具有二次电子反射电子检测装置的扫描电子显微镜
机译: 配有反散射电子检测功能的扫描电子显微镜