用于内联基板处理工具的窗组件和内联基板处理工具

摘要

本文提供用于内联基板处理工具的窗组件和内联基板处理工具。在一些实施方式中，一种用于内联基板处理工具的窗组件可以包括：具有内表面和外表面的窗主体，所述窗主体包括：中心半透明的部分，所述中心半透明的部分被配置成使得从辐射加热灯发射出的辐射热量穿过所述中心半透明的部分，以及表面处理的部分，所述表面处理的部分围绕所述中心半透明的部分设置并设置在每个所述内表面和所述外表面上，所述表面处理的部分被配置成最小化从所述辐射加热灯发射出的所述辐射热量的全内反射；以及一或多个模制的密封件，所述模制的密封件邻近所述窗主体的外缘设置并设置在所述窗主体的每个所述内表面和所述外表面上。