一种带有弹性阻尼气室的静压空气轴承

摘要

本实用新型公开了一种带有弹性阻尼气室的静压空气轴承，该静压空气轴承内设置有一空腔，所述空腔内设置有弹性薄板并且通过所述弹性薄板形成上下两个相对独立的阻尼气室，上阻尼气室的内壁上设置有第一环形垫圈，下阻尼气室的内壁上设置有第二环形垫圈。本实用新型增加了弹性薄板的柔性变化来调剂阻尼气室的体积变化比，这种自适应的调节方式简单，效率高，能够大幅降低外界冲击和气锤的影响，增加静压空气轴承的刚度和稳定性，适用于各种超精密测试领域。