一种流量-压力双闭环气体压力控制装置

摘要

本实用新型公开了一种流量-压力双闭环气体压力控制装置，包括气源腔、待控制压力腔和控制装置；待控制压力腔内安装有流量传感器和压力传感器；控制装置包括活门座、活门杆、橡胶垫、音圈电机、控制板和弹簧；控制板与音圈电机、流量传感器和压力传感器相连，并控制音圈电机的工作状态；音圈电机与活门杆相连，并在通电时带动活门杆运动；活门杆上套接有弹簧，弹簧将活门杆压紧在活门座上；活门杆的活动端设置有用于对气源腔密封的橡胶垫。本实用新型能够用于小目标容积和大流量范围的气体压力控制系统，并且控制效率高，响应速度快。