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一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入装置

摘要

本实用新型公开了一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入装置,包括激光器、可移动透镜、聚焦透镜、X扫描镜和Y扫描镜、X振镜和Y振镜、以及控制系统,控制系统控制X振镜和Y振镜的运动,进而控制X扫描镜和Y扫描镜的反射角度,激光器产生的激光通过所述可移动透镜进行调节,然后经过聚焦透镜将激光进行聚焦,聚焦后的激光经X扫描镜和Y扫描镜反射到放置于由靶材颗粒组成的悬浊液中的基材的表面上。本实用新型采用振镜技术,控制激光焦点按照特定的运动轨迹和扫描速度,在基材需要植入微细颗粒的表面进行扫描运动,悬浊液不断提供植入所需要的靶材,振镜快速移动激光焦点,保证了前后两次植入的周围环境一直处于稳定状态。

著录项

  • 公开/公告号CN204913051U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2015-12-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 广东工业大学;

    申请/专利号CN201520725380.5

  • 申请日2015-09-18

  • 分类号

  • 代理机构广州市南锋专利事务所有限公司;

  • 代理人刘媖

  • 地址 510090 广东省广州市越秀区东风东路729号

  • 入库时间 2022-08-22 01:02:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-12

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B23K26/00 授权公告日:20151230 终止日期:20160918 申请日:20150918

    专利权的终止

  • 2015-12-30

    授权

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