一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于扫描振镜快速移动激光焦点的植入方法，包括将基材放置于由靶材颗粒组成的悬浊液中；激光通过可移动透镜进行调节，然后经过聚焦透镜将激光进行聚焦；激光束入射到X扫描镜和Y扫描镜上，使用控制系统控制X振镜和Y振镜的运动，进而控制X扫描镜和Y扫描镜的反射角度；激光诱导产生的冲击波以及高速微射流，推动微细颗粒冲击植入基材。本发明采用了振镜技术，控制激光焦点按照特定的运动轨迹和扫描速度，在基材需要植入微细颗粒的表面进行扫描运动，悬浊液不断提供植入所需要的靶材，保证了连续微结构的均匀性；振镜快速移动激光焦点，保证了前后两次植入的周围环境一直处于稳定状态。本发明还公开了上述方法的装置。