一种用于光刻薄膜烘焙条件测试的加热板结构

摘要

本实用新型公开了一种用于光刻薄膜烘焙条件测试的加热板结构，其包括加热板本体，所述加热板本体的底部设置有加热器，其中，所述加热板本体的端面上沿同一圆周方向开设有若干个盲孔，配合每个盲孔均设置有支撑销，所述支撑销均通过连接件可选择地设置于所述盲孔中，且各个支撑销的高度不同。上述用于光刻薄膜烘焙条件测试的加热板结构通过在加热板本体上设置不同高度的支撑销，从而使控片与加热板本体具有不同的倾斜角度，以便于采用同一控片对光刻薄膜进行不同烘焙条件的测试，不仅节省了测试成本；而且提高了测试的效率和数据的可靠性。