硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装

摘要

本实用新型涉及硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，包含导轨以及位于其上的夹具支座，导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。利用磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3mm，通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空环境，从而提高产品的合格率及效率。