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曾志锋; 阮毅; 谢泽兵;
广东省机械研究所有限公司 广州 510635;
真空溅射镀膜机; 工作气体; 色差;
机译:基于WO_3反应溅射膜的臭氧传感器的特性:溅射气体中O_2浓度和工作温度的影响
机译:在低温层析成像工作流程中使用溅射镀膜机产生用于层析成像对准的基准标记
机译:工作气体中氢对溅射沉积铟锡氧化物薄膜中氧价态的影响
机译:结合溅射靶材对大面积镀膜机的影响
机译:等离子体能量,等离子体功率,工作距离和惰性气体压力对溅射热弹性钛镍薄膜组成的影响。
机译:溅射镀铂膜的细菌表面定殖
机译:通过反应磁控溅射获得的工作气体在工作气体中的影响,通过反应磁控溅射获得的薄膜Zn 1-x×O.
机译:工作气体压力和流动对反应溅射氧化钼薄膜的影响。
机译:用于控制真空镀膜系统中磁控溅射时镀膜速率横向分布的装置,具有用于调节从气体通道段进入真空室的气体流量的气体调节单元,该气体调节单元被设置为致动器
机译:真空溅射镀膜机的阴极
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