化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置

摘要

本实用新型提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源及连接各组件间的导线组成。其中，温度传感器的感温区域直接与被抛光工件的背面接触，传感器输出的弱信号经过信号处理模块处理后由导电滑环将其传输到信号接收装置，再由信号接收装置对信号进行采集、处理和显示等操作。