适用作光刻胶的聚合物和正性光刻胶组合物

摘要

一种聚合物，当同适宜的光酸生成剂(PAG)使用时，生成正性光刻胶。该聚合物包括酒石酸聚酐的主链、缩醛保护的1，2-二醇基团和连接于主链的稠环缩醛侧基。缩醛保护的α-羟基酐主链进行有效的光酸催化的裂解生成小分子量片段，这些片段易溶于碱的含水的显影剂中。溶解度的高度差别使可以得到高分辨率图象，提供了耐蚀刻性的稠环包括金刚酮或将樟脑结构。随着加入市场购得的光酸生成剂，聚合物制剂形成正性光刻胶，可以提供高反差和高分辨率的图象。