公开/公告号CN204536406U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-08-05
原文格式PDF
申请/专利权人 四川蓝讯宝迩电子科技有限公司;
申请/专利号CN201520084829.4
发明设计人 李胜峰;
申请日2015-02-06
分类号
代理机构
代理人
地址 610000 四川省成都市高新区石羊工业园
入库时间 2022-08-22 00:44:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R19/155 授权公告日:20150805 终止日期:20160206 申请日:20150206
专利权的终止
2015-08-05
授权
授权
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段
机译: 具有锁定功能的配电用机械式带电检测装置
机译: 具有相同功能的自动聚焦检测装置和带电粒子束显微镜